A Programmable Differential Transimpedance Amplifier for Capacitive MEMS Accelerometers

  • Guillermo Royo Grupo de Diseño Electrónico (GDE) Instituto de Investigación en Ingeniería de Aragón (I3A). Universidad de Zaragoza
  • Cecilia Gimeno ICTEAM Institute, Université Catholique de Louvain
  • Concepción Aldea Grupo de Diseño Electrónico (GDE) Instituto de Investigación en Ingeniería de Aragón (I3A). Universidad de Zaragoza
  • Santiago Celma Grupo de Diseño Electrónico (GDE) Instituto de Investigación en Ingeniería de Aragón (I3A). Universidad de Zaragoza

Resumen

In this work, a fully-differential transimpedance amplifier with programmable gain and bandwidth for MEMS accelerometers is presented. It is aimed for a differential surface-micromachined combfinger capacitive accelerometer, but can be used in many other capacitive sensor applications.
Sección
Artículos (Tecnologías de la Información y las Comunicaciones)