A Programmable Differential Transimpedance Amplifier for Capacitive MEMS Accelerometers

Autores/as

  • Guillermo Royo Grupo de Diseño Electrónico (GDE) Instituto de Investigación en Ingeniería de Aragón (I3A). Universidad de Zaragoza
  • Cecilia Gimeno ICTEAM Institute, Université Catholique de Louvain
  • Concepción Aldea Grupo de Diseño Electrónico (GDE) Instituto de Investigación en Ingeniería de Aragón (I3A). Universidad de Zaragoza
  • Santiago Celma Grupo de Diseño Electrónico (GDE) Instituto de Investigación en Ingeniería de Aragón (I3A). Universidad de Zaragoza

DOI:

https://doi.org/10.26754/jji-i3a.201701621

Resumen

In this work, a fully-differential transimpedance amplifier with programmable gain and bandwidth for MEMS accelerometers is presented. It is aimed for a differential surface-micromachined combfinger capacitive accelerometer, but can be used in many other capacitive sensor applications.

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Número

Sección

Artículos (Tecnologías de la Información y las Comunicaciones)